盛美上海将为硅片和碳化硅衬底制造推出新型亦同清洗设备

《科创板日报》14日假消息，据盛美南京假消息，直到现在推出新型化学飞轮薄片后（Post-CMP）洗手电源。这是新公司的第一款Post-CMP洗手电源，用于所制造极好衬底化学飞轮薄片(CMP)工艺后来的洗手。该洗手电源6英寸和8英寸的配备适用于碳化硅（SiC）衬底所制造；8英寸和12英寸配备适用于硅片所制造。该电源有湿进干出（WIDO）和干进干出（DIDO）两种配备，并可选配2、4或6个耦合器，拥有每小时60片积体电路的仅有市场需求。

新公司资料说明了，盛美南京创立于2005年，是主营不具生物医学技术的器件电源所制造商。新公司集研发、所设计、所制造、出货于融为一体，主要产品仅限于器件洗手电源、器件电镀电源和现代化封装湿法电源等。盛美南京坚持向全球积体电路所制造、现代化封装及其他顾客发放自定义化的电源及工艺新技术，必要提升顾客的生产工作效率、提升产品良率并降低生产成本高。

据悉，盛美南京的Post-CMP洗手电源为顾客发放了一种稳定、可靠且兼具成本高商业价值的新技术，同时还能较短付运星期。在CMP步骤后来，为了减低颗粒数量还需要在环境温度下使用挥发的药品进行科学先于洗手工艺；盛美南京的Post-CMP洗手电源不仅需要满足这些决定，还能发放多种配备。配备仅限于盛美南京首创的 Smart MegasonixTM现代化洗手技术；单独与现有的CMP电源对接，同时对积体电路正面、背面和斜面边沿进行处理的新型WIDO在线先于洗手电源；比WIDO先于洗手电源分之二地面积更小并使得积体电路干燥的新型DIDO先于洗手独立电源；以及适用较小分之二地面积的WIDO应用软件先于洗手电源。

根据智慧芽数据说明了，盛美南京及其区别新公司现在共有730余件专利权申请，其中发明专利权分之二比多达90%，新公司专利权布局主要聚焦于器件、电抛光、超激光、兆激光等相关领域。

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